用于半导体和LCD 微电子等行业的特殊气体输送系统,特气柜通常用于有毒、易燃、腐蚀性气体,气瓶架可用于惰性气体。
☆ 根据客户实际情况自行设计、量身定制,安全美观、实用方便;
☆ 柜体采用3mm钢板,坚固防爆,观察窗口采用安全玻璃；
☆ PLC 控制和触摸屏操作,实现全自动钢瓶切换操作,简便直接；
☆ 可配备多路通讯端口供选择；
☆ 底座可加装电子秤;
适用于半导体和微电子行业特殊气体输送系统,分配箱多用于有毒、易燃、腐蚀性气体,分配盘面一般用于惰性气体;
☆ 主要起到对特气柜出来的气体进行二次分配的作用;
☆ 分为全自动、半自动和手动控制;
☆ 吹扫、真空功能可选;
